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-2-<EDS>EDSは、EnergyDispersiveX-raySpectroscopyの略であり、エネルギー分散X線分析法、装置のことを言います。EDSは、電子ビームを目的箇所に照射し、発生した特性X線をエネルギー分散型X線分光器で検出する装置であり、電子銃を持つSEM、EPMA(電子線マイクロアナライザ)、TEM(透過型電子顕微鏡)などに付属しています。FE-SEMでの分析は、加速電圧を低くしても、電子ビームを細く絞ることができるため、試料内でのX線の広がりが小さくなる分だけ、従来SEMより分析領域が小さくなる可能性があります。<EBSD>EBSDは、ElectronBackscatterDiffractionの略であり、電子線回折を利用した結晶方位解析方法や装置のことを言います。EBSD測定を行う際は、試料表面に細く絞ったビームをステップ走査し、生じた電子線回折像(菊池パターン)をCCDカメラで連続的に取り込み、自動的に指数付けします。これらのデータを専用のアプリケーションソフトで解析することによって結晶学的な組織観察を行うことができるのです。例えば、EBSD解析から得られる方位マップは、各方位に対応する色で表示されており、測定エリア内の結晶方位が一目で分かるようになっています(図3中央)。また、結晶方位の情報とともに結晶構造の情報が得られるため、マトリックス中に存在する第二相を分離(色分け)して表示することが可能です(図3右)。このように、組織と結晶方位(あるいは相)の関係が一対一に対応した結果を得られることがEBSD解析の大きな特長の1つです。IPF像Phase像σ相σ相σ相10μmγ、α相σ相熱処理したD308ステンレス鋼溶接金属のEBSD測定例(左:SEM像、中央:IPF*像、右:Phase像)*IPF:InversePoleFigureの略。逆極点図のこと。SEM像図3
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