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2.観察試料FE-SEMで観察・分析する試料は、従来のSEMと同じもので構いません。低加速電圧での観察でも比較的良好な観察ができるため、導通が悪い試料でも蒸着などの導通処理なしで観察できる場合があります(図4)。ただし、EBSD解析用試料は、平たんかつ試料表面のひずみが少ないことが要求されるので、通常の組織観察試料よりは精密な試料調整技術を必要とします。-3-図4原料鉱物微粉末を無蒸着で観察した例加速電圧:1kV応用例・金蒸着粒子の高倍率観察例(図2)・熱処理したD308ステンレス鋼溶接金属中σ相のEBSD解析例(図3)・原料鉱物微粉末の無蒸着観察例(図4)3.保有機器と主な仕様・FE-SEM本体:日立製S-4300SE型分解能;1.5nm、加速電圧;0.5～30kV、観察倍率;20～500,000倍・EDS分析装置:EDAX製PhoenixSeriesEDS分析装置:分析元素;B～U・EBSD解析装置:TSL製OIM4.6-CCD結晶方位;解析最小直径≦0.2μmφ神鋼溶接サービス(株)技術調査部嶋田雅之
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