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3.EBSD法の原理と特長3-1.EBSD法の原理EBSD法には電子顕微鏡とそれに付属する専用の装置が必要です(写真1)。電子顕微鏡とは光の代わりに電子線を当てて観察や分析を行う顕微鏡で、電子線を観察試料の表面に当てた時に、放出される信号を解析するものです(図3)。EBSD法の仕組みを図4に示します。試料を傾けて電子線を当てると、電子線は試料の表面で反射や回折し、特性X線や二次電子のほかに、後方散乱電子(BackScatteredElectron)と呼ばれる電子が放出されます。この電子をスクリーンに投影すると、電子線を当てた位置の結晶構造と向きに由来した模様(これを菊池パターンと呼びます)が映し出されます。この測定を分析範囲で1点ずつ行い、その解析結果を並べて2次元のマッピング画像を描くという仕組みです。EBSD装置特性X線後方散乱電子(反射電子)照射電子線二次電子試料写真1電子顕微鏡の外観図3試料表面から得られる信号の一例照射電子線後方散乱電子菊池パターン試料スクリーン分析範囲を1点ずつスキャンパターン解析二次元の結晶方位マップ図4EBSD法の仕組み2022Winter20
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