用語解説

EPMA1.EPMAの原理と特長2.溶接の分野における使用例EPMAはElectronProbeX―rayMicroEPMAは微小部を観察し直ちに分析できるたAnalyserの略称であり、X線マイクロアナライザいへん便利な装置であり、溶接の分野においてもとも呼ばれています。幅広く使用されております。以下にEPMAがどの本装置は図1に示すように、試料表面に細く絞ように使用されているかを分析例をまじえて、簡った電子線を照射し、その微小部から発生するX単に述べることにします。線信号や電子信号を検出し、元素分析および試料図2は低合金鋼溶接金属の衝撃試験片破面に観の表面形状の観察を行う分析機器です。察された介在物を分析した結果です。Aは二次電表面形状の観察原理はSEM(走査電子顕微鏡)子像による分析位置の形状観察で、小さな窪み(デと呼ばれる観察機器と同一です。SEMで撮影したィンプル)が連結した一般的な延性破面であるこ写真は、テレビ・新聞などで紹介されることがあとを示しています。この形状観察は、溶接部に発り(例えばスギの花粉)、みなさんも一度はご覧に生した割れの種類を判定する場合など特に重要になったことがあるかと思います。なります。ディンプルの底には介在物が観察されさて、EPMAの最大の特長は1,000分の1㎜(=ることが多く、Bは矢印で示した球状介在物を定1µm)という微小部の分析が手軽にできる点でし性分析したものです。この介在物がMg,Al,Ti,ょう。微小部を対象とする分析機器はいろいろあMnを含んでいることがわかります(Feは母地のりますが、EPMAは適用範囲の広さ・簡便さで抜影響)。C,DはAlとTiについて、二次電子像と同じきんでており、工業・科学の諸分野で最も広く利視野で面分析を行ったもので、二次元的な元素の用されています。分布状態がよくわかると思います。このようなEPMAを使用した微視的な観察・分析は、溶接金属の性能を改善していく過程で必要になりますし、また先ほど述べたように溶接部に発生した割れの原因究明にも不可欠です。さらには各種溶接ワイヤなどの製品、フラックスの原料となる鉱石類の品質チェックにもEPMAが適用されています。以上のようにEPMAは溶接の分野において幅広く活用され、溶接技術の進歩、溶接材料の品質向上に貢献しています。(1985年10月号)A二次電子像B介在物の定性分析CAlの面分析DTiの面分析図2衝撃試験片破面のEPMA分析例184