用語解説

SEMとTEM表題は「セムとテム」と読みます。それぞれ、ます。試料作製はむずかしく面倒なのですが、極英語のScanningElectronMicroscopeおよびめて高い分解能を持っているのが特徴であり(実TransmissionElectronMicroscopeの省略形で、用的な倍率:数千倍〜最大1千万倍程度)、原子国語では前者を走査形電子顕微鏡、後者を透過形の影をも見ることができるため、結晶構造の解明電子顕微鏡といいます。などを得意分野としています。通常、私たちは、小さなものを見たいとき、虫これに対し、SEMは、同じ電子顕微鏡ですが、眼鏡や光学顕微鏡を用いたりしますが、前者ではTEMとは観察原理や観察対象がまったく異なるたかだか20倍程度、高性能光学レンズを組合せた装置です。SEMの観察原理は、細く収束した電子後者でも2000倍程度の拡大率が限度です。限度がビームで試料表面をテレビのように走査し、試料生じる理由は、可視光線の波長より微細なもの表面の形態や物質の種類に応じて放射される二次は、いくら拡大してもぼやけてしまい、識別でき電子を、電子ビームの照射に同期させてブラウンなくなるためです。そこで、分解能を高めるため管に結像させるというものです(図1)。考案されに、可視光線を極めて短い波長を持つ電子ビームたのはTEMにわずかに遅れる程度だったのですに、光学レンズを電磁レンズに、それぞれ置き換が(Knoll,1935年)、実用化は遅れ、商用機が出たえたTEMがまず発明され(Ruska,1929年)、商用のは1960年代になってからです。SEMは、試料表機が出ました(ジーメンス社、1939年)。TEMは、面を観察対象としていますが、焦点深度が深く、その名のとおり加速電子ビームで試料を透過して虫眼鏡レベルの低倍率から数万倍の高倍率まで連観察するため、試料を極めて薄くする必要があり続して観察できることを特徴としています。そのため、破断面などの凹凸が激しい試料表面を観察するに適しています。SEMの観察試料は、表面に帯電が起きないようなものにすれば何でもよく、試料作製が簡単なことが特長です。SEMは、TEMに比べて、手軽に観察でき、装置としても安価ですので、近年の普及はめざましく、最近では電子顕微鏡といえばSEMをイメージする人が多いようです。(1999年5月号)図1SEMの観察原理237